我們平時所使用的手機為什么能夠與外界連接溝通？這得益于其中的芯片。當(dāng)然芯片的使用不限于手機，還有我們平時使用的銀行卡、電話卡甚至學(xué)校一卡通都會使用到芯片。作為芯片的制造設(shè)備四川光刻機。下面我們先來了解一下使用它曝光的三種方式。

接觸式曝光

接觸式曝光是將掩膜與待加工基片的光膠層直接接觸進行的曝光。掩膜和基片通過機械裝置壓緊或通過真空吸住等方法實現(xiàn)兩者緊密接觸。

優(yōu)點：設(shè)備簡單、造價便宜、分辨率較高，約1-2μm。由于掩膜與光膠層緊密接觸，所以相差小，分辨率高。

缺點：由于掩膜與基片緊密接觸，容易損壞掩膜與光膠層。

非接觸式曝光

非接觸式曝光是指掩膜和基片上的光膠層不直接接觸實現(xiàn)圖形復(fù)印曝光的方法。

優(yōu)點:克服接觸式曝光容易損壞掩膜和基片的缺點。

缺點：由于光的衍射效應(yīng)會使圖形的分辨率下降。

投影式曝光

投影式曝光是指掩膜與基片并不直接接觸，而是以類似投影儀的投影方式來進行圖形的轉(zhuǎn)移。

優(yōu)點：曝光均勻，沒有色差、象差，可進行縮小投影曝光，因此掩膜的尺寸可比基片大很多倍，掩膜中的圖形線條可做得較粗。

缺點：裝置價格昂貴。

關(guān)于“使用四川光刻機曝光的三種方式”的相關(guān)內(nèi)容就為大家介紹到這里。成都鑫南光機械設(shè)備有限公司以發(fā)展高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)為已任，不斷拓展市場，開發(fā)新產(chǎn)品，同時也為技藝高超的工人技師找到了用武之地，公司在全體員工中樹立起了“精品”意識，務(wù)求在產(chǎn)品的價格、質(zhì)量、交貨期、售后服務(wù)等方面做到讓用戶滿意。